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精密平臺是源自艾塞路獨(dú)創(chuàng)的理念 、實(shí)現(xiàn)了超高速?高剛性!! 大大縮短了間隙時(shí)間。 產(chǎn)品目錄以外式樣、也可接受咨詢。

  1. 超高速定位
    電機(jī)直接連接凸輪驅(qū)動方式,最大100mm/sec
  2. 高剛性?高精度
    搭載滾針方式滾針導(dǎo)柱。X?Y方向重復(fù)定位精度±1.5μm以下。
  3. 緊湊設(shè)計(jì)
    電機(jī)機(jī)內(nèi)配置,防止電機(jī)外部碰擦。

結(jié)構(gòu)?優(yōu)點(diǎn)

采用高真直性的滾針導(dǎo)柱、X?Y方向重復(fù)定位精度±1.5μm以下??!
精密平臺實(shí)現(xiàn)「超高速」「高剛性」「高精度」的三位一體。

驅(qū)動方式

采用電機(jī)直接連接凸輪驅(qū)動方式。實(shí)現(xiàn)令人驚異的高速定位。(最大100mm/sec)

緊湊形狀

精密平臺將電機(jī)配置在內(nèi)部。不會發(fā)生電機(jī)碰擦到外部零件、節(jié)省空間設(shè)計(jì)。 另外、上?下限節(jié)點(diǎn)及原點(diǎn)感應(yīng)器也配置在內(nèi)部。

精密凸輪

1 采用艾塞路獨(dú)創(chuàng)技術(shù)精密研磨的凸輪、達(dá)到穩(wěn)定的精度定位 。

導(dǎo)柱方式

2 采用4支高精度?高剛性滾針方式導(dǎo)柱「滾針導(dǎo)柱」。成功兼容剛性和潤滑。

高精度電動缸

3 搭載(株)ハーモニック?ドライブ?システムズ公司的超扁平?高精度AC伺服電動缸FHA-Cmini系列 。 實(shí)現(xiàn)了小型 、高出力?高精度 。

用途例

  • 各種檢查、測定用定位裝置
  • 半導(dǎo)體相關(guān)制造裝置
  • 太陽能平板相關(guān)制造裝置
  • 各種連接裝置 など

產(chǎn)品呼稱(型號)

產(chǎn)品陣容/標(biāo)準(zhǔn)式樣

輕巧緊湊的輕量型和高真直性的高精度型2種標(biāo)準(zhǔn)式樣。

尺寸圖/尺寸表

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精密平臺 MSZF系列 特注問い合わせシート