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伺服壓機(jī)單元：納米伺服壓機(jī)

可以達(dá)到納米水平的輸送控制的超精密伺服壓機(jī)。

最大加壓力：
5000N
傳感行程：
100mm
機(jī)械行程：
130mm

特點(diǎn)

  1. 重復(fù)位置決定精度：±50nm（納米）和超精密伺服壓機(jī)。
  2. 線性刻度及閉合回路控制，使得可以實(shí)現(xiàn)超精細(xì)輸送。
    輸出速度：620nm/sec.
  3. 納米伺服壓機(jī)和負(fù)載傳感器的組合，使得可以做到極低壓控制（可選）。

用途

  • 膜片制造裝置
  • 壓入
  • 刻印裝置
  • 鉚接
  • 臨界實(shí)驗(yàn)裝置
  • 半切
  • 電子零件的封印
  • 沖壓